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由于晶圓在切割的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生熱量，所以常見(jiàn)的晶圓切割通常用去離子水來(lái)進(jìn)行冷卻。

我們使用去離子水沖洗晶圓切割刀片不難可以有效防止水中的可移動(dòng)離子對(duì)晶圓造成污染，影響后續(xù)的工藝；而且水越純電阻率越高，導(dǎo)電性越差，高速?zèng)_擊下比較容易產(chǎn)生靜電，在去離子水中加入二氧化碳可以有效防止靜電。