時間:2022-06-10
晶圓切割的激光機具有劃片速度快,效率高,成片率高,精度高等顯著優(yōu)點,與此同時激光切割也伴隨著切割難度大的問題,以砷化鎵晶圓切割為例,激光切割中長產(chǎn)生的難題是砷化鎵殘余物的重鑄以及切割接口會產(chǎn)生微裂痕。
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