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時(shí)間:2021-11-19
晶圓切割工藝是半導(dǎo)體封裝的一道重要的前序工藝,傳統(tǒng)的切割方式是砂輪劃片,屬于接觸式切割,會(huì)對(duì)襯底表面造成一定的損傷,帶來(lái)缺陷,影響芯片性能。而激光隱形切割就可以避免對(duì)晶圓造成類(lèi)似的損傷,極大程度提高了切割的良率。
激光隱形晶圓切割機(jī)的作用:利用高能激光束對(duì)樣品表面進(jìn)行加工,經(jīng)過(guò)的區(qū)域樣品材料由于汽化而被去除,主要用于金屬、Si、Ge、AsGa及其他半導(dǎo)體襯底材料的切割。除了成品率高,還有無(wú)污染、切口光滑、精度高、切割道窄等優(yōu)點(diǎn)。